PLASMA procesor je uređaj koji se koristi za obradu plazme. Njegova se struktura sastoji od sljedećih glavnih komponenti:
Pretresna komora: Komora za pražnjenje je osnovna komponenta plazme procesora. Koristi visok izmjenični ili radiofrekventni električni poljičari da bi izazvali pražnjenja plina, čime se formira plazma. Komora za pražnjenje obično je izrađena od izolacijskih materijala poput keramike ili stakla.
Radna komora: Radna komora je primarna lokacija za preradu materijala. Različiti efekti obrade postižu se kontrolom različitih parametara plina, pritiska i struje. Radna komora obično je izrađena od materijala sa dobrim vakuumskim zaptivnim svojstvima, poput metala ili keramike.
Sistem evakuacije: vakuumski sistem koristi se za izdvajanje plina iz Radne komore kako bi se stvorio vakuumsko okruženje tokom prerade. Vakum sistem obično se sastoji od vakuum pumpe i povezanog upravljačkog sistema.
Visoko - Snabdijevanje frekvencijskog napajanja: Visoko - frekvencijsko napajanje nudi energiju u plazma procesoru, ionizirajući gas da formira plazmu kroz visoko - frekventni električni polje. Visoko - frekvencijsko napajanje obično se sastoji od elektroničkih komponenti i povezanih upravljačkih sistema.
Automatski upravljački sustav: Automatski upravljački sustav kontrolira cijeli postupak obrade plazme, uključujući postavku parametara, kontrolu vremena obrade i nadgledanje vakuumskih nivoa. Sistem automatskog upravljanja obično se sastoji od računalnog i srodnog upravljačkog softvera.
Pored toga, plazma procesori opremljeni su sistemom za opskrbu plinom za opskrbu potrebnim plinovima u komoru za pražnjenje. Ovaj sistem se obično sastoji od plinskog cilindra, regulatora pritiska, regulatora protoka i drugih komponenti.
Ukratko, struktura plazme procesora uključuje pretresno veću, radnu veću, vakuumski sistem, visoko - frekvencijsko napajanje i sistem automatskog upravljanja. Koordinirani rad ovih komponenti omogućava plazmi procesoru da izaziva različite fizičke i hemijske reakcije na površini materijala, čime se postigne željeni tretman.